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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        低溫真空探針臺

        產(chǎn)品簡介

        低溫真空探針臺 廣泛應用于半導體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領(lǐng)域。為了提高系統(tǒng)的實用性,系統(tǒng)還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

        產(chǎn)品型號:
        更新時間:2024-03-27
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問量:6595
        詳細介紹在線留言
        品牌鄭科探

          低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。可以對材料或器件進行電學特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量,

            低溫真空探針臺廣泛應用于半導體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領(lǐng)域。為了提高系統(tǒng)的實用性,系統(tǒng)還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

           KT-Z1604T探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

             該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測

        真空腔體

        腔體材質(zhì)

        304不銹鋼

        上蓋開啟

        鉸鏈側(cè)開

        加熱臺材質(zhì)

        304不銹鋼

        內(nèi)腔體尺寸

        φ160x90mm

        觀察窗尺寸

        Φ70mm

        加熱臺尺寸

        φ60mm

        觀察窗熱臺間距

        75mm

        加熱臺溫度

        35-350

        加熱臺溫控誤差

        ±1

        真空度

        機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

        允許正壓

        ≤0.1MPa

        真空抽氣口

        KF25真空法蘭

        氣體進氣口

        3mm-6mm卡套接頭

        電信號接頭

        SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

        電學性能

        絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

        探針數(shù)量

        4探針

        探針材質(zhì)

        鎢針  

        探針尖

        10μm

        探針移動平臺

        X軸移動行程

        30mm    ±15mm

        X軸控制精度

        ≤0.01mm

        Y軸移動行程

        13mm    ±12.5mm

        Y軸控制精度

        ≤0.01mm

        Z軸移動行程

        13mm    ±12.5mm

        Z軸控制精度

        ≤0.01mm

        電子顯微鏡

        顯微鏡類別

        物鏡

        物鏡倍數(shù)

        0.7-4.5

        工作間距

        90mm

        相機

        sony 高清

        像素

        1920※1080像素

        圖像接口

        VGA

        LED可調(diào)光源

        顯示屏

        8

        放大倍數(shù)

        19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



         

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