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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-0904T-RL高溫氣敏測試臺 真空探針臺

        高溫氣敏測試臺 真空探針臺

        產(chǎn)品簡介

        高溫氣敏測試臺 真空探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

        產(chǎn)品型號:KT-0904T-RL
        更新時間:2024-04-30
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問量:1583
        詳細(xì)介紹在線留言
        品牌鄭科探

        高溫氣敏測試臺 真空探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

        模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級。可根據(jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級。增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。

        • 可處理不同尺寸的晶圓

        • 可測試芯片、晶圓

        • 可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物

        • 模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有較好的靈活性

        高溫氣敏測試臺 真空探針臺參數(shù)

        真空腔體

        類型

        加熱型350℃    或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃

        腔體材質(zhì)

        304不銹鋼

        腔體內(nèi)尺寸

        φ90x40mm

        腔體上視窗尺寸

        Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm)

        腔體抽氣口

        KF16

        腔體進(jìn)氣口

        公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

        腔體出氣口

        公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

        腔體正壓

        ≤0.05MPa

        腔體真空度

        機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

        樣品臺

        樣品臺材質(zhì)

        304不銹鋼

        樣品臺尺寸

        26X26mm

        樣品臺-視窗 距離

        30mm(可選凹視窗間距15mm)

        樣品臺測溫傳感器

        A    級PT100鉑電阻

        樣品臺溫度

        室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)

        樣品臺測溫誤差

        ±0.2℃

        樣品臺變溫速率

        高溫10℃/min    低溫5℃/min  最大值

        溫控儀

        溫度顯示

        7寸人機(jī)界面

        溫控類型

        標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

        溫度分辨率

        0.1℃

        溫控精度

        ±0.5℃

        溫度信號輸入類型

        PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

        溫控輸出

        直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

        輔助功能

        溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線

        探針

        電信號接頭

        配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭  BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

        電學(xué)性能

        絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質(zhì)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

        探針數(shù)量

        4探針(可定做6探針)

        探針材質(zhì)

        鍍金鎢針

        探針尖

        10μm

        探針移動平臺

        X軸移動行程

        12mm    ±6mm

        X軸控制精度

        ≤5μm

        Y軸移動行程

        12mm    ±6mm

        Y軸控制精度

        ≤5μm

        Z軸移動行程

        12mm    ±6mm

        Z軸控制精度

        ≤5μm

        數(shù)碼顯微鏡

        顯微鏡類別

        物鏡放大+電子放大

        顯微鏡放大倍數(shù)

        100倍

        顯微鏡工作間距

        50-150mm

        相機(jī)分辨率

        1080P  60幀   

        相機(jī)信號輸出

        HDMI輸出+USB輸出

        LED可調(diào)光源

        LED光源

        顯示屏

        5寸 屏幕一體機(jī)





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